Urteil des BPatG, Az. 23 W (pat) 324/04

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BPatG 154
08.05
BUNDESPATENTGERICHT
23 W (pat) 324/04
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(Aktenzeichen)
Verkündet am
20. Juli 2006
B E S C H L U S S
In dem Einspruchsverfahren
betreffend das Patent 100 19 408
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hat der 23. Senat (Technischer Beschwerdesenat) des Bundespatentgerichts auf
die mündliche Verhandlung vom 20. Juli 2006 unter Mitwirkung …
beschlossen:
Das Patent wird widerrufen.
G r ü n d e
I.
Das angegriffene Patent 100 19 408 (Streitpatent) wurde unter der Bezeichnung
„Feldeffekttransistor, insbesondere zur Verwendung als Sensorelement oder Be-
schleunigungssensor, und Verfahren zu dessen Herstellung“ am 19. April 2000
beim Deutschen Patent- und Markenamt angemeldet und am 13. November 2003
veröffentlicht.
Gegen das Patent hat die A… AG mit Schriftsatz vom 13. Februar 2004
- beim Deutschen Patent- und Markenamt eingegangen am selben Tag - Ein-
spruch eingelegt.
Die Einsprechende beantragt, das Patent mangels erfinderischer Tätigkeit zu wi-
derrufen, wobei der Einspruch u. a. auf die Druckschriften
E1 EP 0 990 911 A1 und
E3 DE 44 31 478 A1
gestützt wird.
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Mit Schriftsatz vom 16. September 2004 hat die Patentinhaberin neue Patentan-
sprüche 1 bis 12 eingereicht.
In der mündlichen Verhandlung am 20. Juli 2006 hat die Patentinhaberin zur be-
schränkten Verteidigung des Streitpatents einen neuen Patentanspruch 1 vorge-
legt und die Auffassung vertreten, dass dessen Gegenstand auf einer erfinderi-
schen Tätigkeit beruhe.
Die Einsprechende beantragt,
das Patent zu widerrufen
Die Patentinhaberin beantragt,
das Patent mit folgenden Unterlagen aufrechtzuerhalten:
Patentanspruch 1, überreicht in der mündlichen Verhandlung vom
20. Juli 2006,
Patentansprüche 2 bis 12, eingegangen am 16. September 2004,
Beschreibung, Spalten 1 bis 11 in der erteilten Fassung mit der
Maßgabe, dass die Abschnitte <0007> bis <0011> durch die Be-
schreibungsseiten 2a und 2b, überreicht in der mündlichen Ver-
handlung vom 20. Juli 2006, ersetzt werden,
Zeichnung, Figuren 1 bis 4g in der erteilten Fassung.
Der verteidigte Patentanspruch 1 hat folgenden Wortlaut:
„1. Feldeffekttransistor, insbesondere zur Verwendung als Sen-
sorelement oder in einem Beschleunigungssensor, mit mindestens
einem Drainbereich (12) und mindestens einem Sourcebereich
(13); die über mindestens einen Kanalbereich (21) voneinander
getrennt sind und sich innerhalb eines zumindest bereichsweise
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planaren Substrates (10) befinden, sowie mit mindestens einer
Gateelektrode (16), die zumindest weitgehend freitragend ober-
halb des Substrates (10) über zumindest einem Bereich des
Kanalbereiches (21) angeordnet ist, wobei die Gateelektrode (16)
über zwei einander gegenüberliegende, auf einer gemeinsamen
Achse angeordneten Federn (18) mit insgesamt vier Veranke-
rungen (19) mit dem Substrat (10) verbunden ist, wobei jeweils
zwischen der Feder (18) und den beiden zugeordneten Veranke-
rungen (19) eine Temperaturschwankungen kompensierende Fe-
derstruktur (20) angeordnet ist, und die Gateelektrode (16) derart
federnd gelagert ist, dass eine auf die Gateelektrode (16) ein-
wirkende äußere Kraft, die eine parallel zu der Oberfläche des
Substrates (10) gerichtete Komponente hat, eine zumindest nähe-
rungsweise parallel zu der Oberfläche des Substrates (10) gerich-
tete Auslenkung der Gateelektrode (16) aus der Ruhelage be-
wirkt.“
Hinsichtlich der geltenden Patentansprüche 2-12 weiterer Einzelheiten wird auf
den Akteninhalt verwiesen.
II.
Die Zuständigkeit des (technischen) Beschwerdesenats des Bundespatentgerichts
für die Entscheidung über den Einspruch ergibt sich aus § 147 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1
PatG. Danach ist das Patentgericht zuständig, wenn - wie im vorliegenden Fall -
die Einspruchsfrist nach dem 1. Januar 2002 zu laufen begonnen hat und der Ein-
spruch vor dem 1. Juli 2006 eingelegt wurde.
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III.
Der form und fristgerecht eingelegte Einspruch ist zulässig. Er ist auch begründet,
denn der Gegenstand des geltenden Patentanspruches 1 erweist sich nach dem
Ergebnis der mündlichen Verhandlung als nicht patentfähig.
1) Gegen die Zulässigkeit des Einspruchs bestehen keine Bedenken. Die Ein-
sprechende hat innerhalb der Einspruchsfrist gegenüber dem erteilten Patent
den Widerrufsgrund der mangelnden erfinderischen Tätigkeit geltend gemacht
und den erforderlichen Zusammenhang zwischen sämtlichen Merkmalen des
erteilten Patentanspruchs 1 und dem Stand der Technik nach von ihr genann-
ten Schriften im Einzelnen hergestellt.
2) Gegen die Zulässigkeit der geltenden Patentansprüche bestehen keine Be-
denken.
3) Beim Gegenstand des geltenden Patentanspruches 1 ist bei einem Feld-
effekttransistor, der als Sensorelement verwendet wird, die federnde Lagerung
der Gateelektrode realisiert, indem sie über zwei einander gegenüberliegende,
auf einer gemeinsamen Achse angeordnete Federn mit insgesamt vier Ver-
ankerungen mit dem entsprechenden Substrat verbunden ist, wobei jeweils
zwischen der Feder und den beiden zugeordneten Verankerungen eine Tem-
peraturschwankungen kompensierende Federstruktur angeordnet ist. Durch
diese Federstruktur kann eine deutliche Verringerung der Temperaturabhän-
gigkeit des Messignals des linearen Sensorelementes erreicht werden, vgl.
Spalte 7, Zeilen 21 bis 23 der Streitpatentschrift.
4) Der zweifelsohne gewerblich anwendbare Gegenstand des Patentanspru-
ches 1 ist zwar neu, jedoch beruht er gegenüber dem Stand der Technik nach
den Druckschriften E1 und E3 nicht auf einer erfinderischen Tätigkeit. Als zu-
ständiger Fachmann ist dabei ein auf dem Gebiet der Sensortechnik berufs-
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erfahrener Fachhochschulingenieur der Elektrotechnik mit Kenntnissen der
Halbleiterfertigungstechnik anzusehen.
Aus der Druckschrift E3, vgl. dort insb. die Figur 1 mit Text sowie die in Spal-
te 1, Zeilen 46 bis 49 genannte Zielsetzung, ist ein temperaturkompensierter
kapazitiver Sensor bekannt, wobei bereits die bewegte Elektrode (3) des Be-
schleunigungssensors über zwei einander gegenüberliegende, auf einer ge-
meinsamen Achse angeordnete Federn (Bezugszeichen 5 in Fig. 1) der mit
insgesamt vier Verankerungen (7, die mittlere Verankerung ist dabei beiden
Federn gemeinsam) mit dem Substrat verbunden ist und wobei jeweils zwi-
schen der Feder und den beiden zugehörigen Verankerungen eine Tempera-
turschwankungen kompensierende Federstruktur mit Ausgleichsbalken 8 an-
geordnet ist.
Wie in der Streitpatentschrift zutreffend dargestellt ist, weisen kapazitive Sen-
soren den Nachteil der Nichtlinearität auf, vgl. den Abschnitt <0013> der
Streitpatentschrift. Demgegenüber haben ausweislich der Druckschrift E1
Sensoren, die auf dem Feldeffektprinzip beruhen, eine lineare Charakteristik,
vgl. dort den Abschnitt <0027>.
Folglich bietet es sich dem Fachmann an, den aus der Druckschrift E3 be-
kannten Sensor dadurch zu einen linearen Sensor zu machen, dass er ent-
sprechend der Anregung durch die Druckschrift E1 als Feldeffekttransistor mit
mindestens einem Drainbereich (D) und mindestens einem Sourcebereich (5)
ausgebildet wird, die über mindestens einen Kanalbereich (K) voneinander ge-
trennt sind und sich innerhalb eines zumindest bereichsweise planaren Sub-
strats (5) befinden, sowie mit mindestens einer Gateelektrode (G), die zu-
mindest weitgehend freitragend oberhalb des Substrates (5) über zumindest
einem Bereich des Kanalbereiches (K) angeordnet ist, wobei die Gate-
elektrode (G) mit mindestens einer Verankerung mit dem Substrat verbunden
und derart federnd gelagert ist, dass eine auf die Gateelektrode einwirkende
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äußere Kraft, die eine parallel zu der Oberfläche des Substrates gerichtete
Komponente hat, eine zumindest näherungsweise parallel zu der Oberfläche
des Substrates (5) gerichtete Auslenkung (P) der Gateelektrode (G) aus der
Ruhelage bewirkt (vgl. Druckschrift E1, Anspruch 1 und Figuren 1 und 2 mit
zugehöriger Beschreibung).
Damit gelangt der Fachmann ohne erfinderisches Zutun aber schon zum Ge-
genstand des Patentanspruches 1 des Streitpatents.
Der geltende Patentanspruch 1 ist daher nicht patentfähig.
5) Mit dem Patentanspruch 1 fallen aufgrund der Antragsbindung die Ansprü-
che 2 bis 12.
6) Bei dieser Sachlage war das Patent zu widerrufen.
gez.
Unterschriften