Urteil des BPatG vom 11.02.2009
BPatG (Stand der Technik, Fachmann, Messung, Technik, Stand, Umgebung, Gerät, Patent, Fig, Beschränkung)
BPatG 154
08.05
BUNDESPATENTGERICHT
19 W (pat) 24/05
_______________
(Aktenzeichen)
Verkündet am
11. Februar 2009
…
B E S C H L U S S
In der Beschwerdesache
…
- 2 -
betreffend das Patent 43 33 419
hat der 19. Senat (Technischer Beschwerdesenat) des Bundespatentgerichts auf
die mündliche Verhandlung vom 11. Februar 2009 unter Mitwirkung des Vorsitzen-
den Richters Dipl.-Ing. Bertl und der Richter Gutermuth, Dr.-Ing. Kaminski und
Dipl.-Ing. Groß
beschlossen:
1) Auf die Beschwerde der Einsprechenden II und die Anschluss-
beschwerde der Patentinhaberin wird das deutsche Patent
43 33 419 unter Abänderung des Beschlusses des Deutschen
Patent- und Markenamtes vom 4. März 2005 mit folgenden
Unterlagen beschränkt aufrecht erhalten:
Patentansprüche 1 bis 14 vom 11. Februar 2009 wie über-
reicht,
Beschreibung: handschriftlich geänderte Seiten 2 bis 9, Ein-
schub S. 3a
wie am 11. Februar 2009 überreicht,
Zeichnungen wie Patentschrift
2) Im Übrigen wird die Beschwerde zurückgewiesen.
- 3 -
G r ü n d e
I.
Auf die am 30. September 1993 unter Inanspruchnahme der Priorität der Anmel-
dung Nr. 956 280 in den Vereinigten Staaten von Amerika vom 5. Oktober 1992
eingegangene Anmeldung hat das Deutsche Patent- und Markenamt - Prüfungs-
stelle für Klasse G 01 B - ein Patent mit der Bezeichnung
„Verfahren und Vorrichtung zur Schichtdickenmessung und Meßsonde
für eine kombinierte Schichtdickenmeßvorrichtung“
erteilt.
Dieses Patent ist im Einspruchsverfahren durch Beschluss vom 4. März 2005 im
Umfang des Hauptantrags der Patentinhaberin vom 28. November 2003 be-
schränkt aufrechterhalten worden, da der Gegenstand dieser Ansprüche gegen-
über dem druckschriftlichen Stand der Technik patentfähig sei, und mangels sach-
licher Übereinstimmung weder der behaupteten Vorbenutzung nachgegangen zu
werden brauchte, noch ein Exemplar des Schichtdickenanzeigers ELSA vorzule-
gen war.
Gegen diesen Beschluss richtet sich die Beschwerde der Einsprechenden II.
- 4 -
Die Patentinhaberin hat in der mündlichen Verhandlung Anschlussbeschwerde er-
hoben, neue Patentansprüche mit angepasster Beschreibung vorgelegt und bean-
tragt, das Patent mit folgenden Unterlagen beschränkt aufrecht zu erhalten:
Patentansprüche 1 bis 14 vom 11. Februar 2009 wie überreicht,
Beschreibung: handschriftlich geänderte Seiten 2 bis 9, Einschub
S. 3a wie am 11. Februar 2009 überreicht,
Zeichnungen wie Patentschrift.
Sie ist der Ansicht, dass die Gegenstände der nebengeordneten Ansprüche 1, 4
und 11 durch den Schichtdicken-Anzeiger ELSA, wie er in dem Fachblatt für Kraft-
Verkehrsunfall und Fahrzeugtechnik
ni 1991, beschrieben ist, weder vorweggenommen noch nahelegt sei.
Denn dort werde weder mit einem Gleichfeld gearbeitet noch sei in patentgemäßer
Weise die Dickenmessung mit der Substraterkennung untrennbar kombiniert zu ei-
nem automatischen Meß- und Substraterkennungsvorgang.
Auch keine andere der zahlreichen im Verfahren befindlichen Druckschriften offen-
bare eine solche Vorgehensweise.
Der geltende Patentanspruch 1 lautet mit einer eingefügten Merkmalsgliederung:
„Verfahren zur Schichtdickenmessung von eisenfreien oder nicht-
magnetischen Schichten auf einem eisenhaltigen oder magneti-
schen Substrat sowie von nicht-leitenden Schichten auf einem lei-
tenden Substrat, wobei:
a) eine Schichtdickenmeßvorrichtung mit einer einzigen Meßson-
de zum Durchführen beider Meßarten an einer einzigen Stelle
verwendet wird, um mit der einzigen Meßsonde automatisch
die Substrateigenschaften zu bestimmen und eine Schichtdi-
ckenmessung auf dem charakterisierten Substrat durchzufüh-
ren;
- 5 -
b) die einzige Meßsonde auf die Oberfläche eines beschichteten
Substrats aufgesetzt und geprüft wird, ob ein eisenhaltiges
Substrat vorliegt, durch Anlegen eines magnetischen Gleich-
feldes durch einen in der Meßsonde befindlichen Gleichfeld-
magneten (30) und Messen der magnetischen Flußdichte in
der Umgebung der Polfläche des Gleichfeldmagneten (30);
c)
die Schichtdicke anhand der gemessenen magnetischen
Flußdichte bestimmt wird, falls ein eisenhaltiges Substrat er-
mittelt wird; oder
d) automatisch in einen Modus umgeschaltet wird, um im Sub-
strat auftretende Wirbelstromeffekte zu messen und die
Schichtdicke anhand dieser Messung zu bestimmen, falls ein
leitendes Substrat vorliegt.“
Der nebengeordnete Patentanspruch 4 lautet mit einer vervollständigten Merk-
malsgliederung:
„Schichtdickenmeßvorrichtung zum automatischen Messen so-
wohl von eisenfreien oder nicht-magnetischen Schichten auf ei-
nem eisenhaltigen oder magnetischen Substrat als auch von nicht-
leitenden Schichten auf einem leitenden Substrat, mit:
a) einem Gleichfeldmagnet (30);
b) einem nahe einer Polfläche des Gleichfeldmagneten (30)
magnetischen Flußdichtesensormittel (50), um ein Magnetfeld
in Umgebung der Polfäche des Gleichfeldmagneten (30) zu
messen;
c)
einer in Umgebung der Polfläche angeordneten Wirbelstrom-
meßspule (60); und
- 6 -
d) Steuermitteln (90) zum Empfangen von Eingangssignalen aus
dem Flußdichtesensormittel (50) und der Wirbelstrommeß-
spule (60), zum automatischen Umschalten von dem Fluß-
dichtesensormittel (50) auf die Wirbelstrommeßspule (60) und
zum Berechnen einer Schichtdicke auf der Grundlage eines
ausgewählten Eingangssignals; wobei
e) der Gleichfeldmagnet (30), das magnetische Flußdichtesen-
sormittel (50) und die Wirbelstrommeßspule (60) in einer einzi-
gen Meßsonde untergebracht sind.“
Der nebengeordnete Patentanspruch 11 lautet:
Meßsonde für eine kombinierte Schichtdickenmeßvorrichtung zur
Schichtdickenmessung von sowohl einer eisenfreien oder nicht-
magnetischen Schicht auf einem eisenhaltigen oder magnetischen
Substrat als auch einer nicht-leitenden Schicht auf einem leiten-
den Substrat, wobei die Meßsonde umfasst:
a) einen Gleichfeldmagnet (30);
b) ein nahe einer Polfäche des Gleichfeldmagneten (30) ange-
ordnetes Hall-Effekt-Magnetsensormittel (50), um ein Magnet-
feld in der Umgebung der Polfläche zu messen;
c)
eine in Umgebung der Polfläche angeordnete Wirbelstrom-
meßspule (50);
d) ein mit dem Hall-Effekt-Magnetsensormittel (50) gekoppeltes
Temperatursensormittel (40) zur Temperaturmessung in Nähe
des Hall-Effekt-Magnetsensormittels, um eine hinsichtlich der
gemessenen Temperatur kompensierte oder korrigierte mag-
netische Flußdichtemessung zu liefern; und
- 7 -
e) Steuermittel als Steuerung oder Steuervorrichtung, wobei der
Gleichfeldmagnet (30), das Hall-Effekt-Magnetsensormittel
(50), die Wirbelstrommeßspule (60) und das Temperatursen-
sormittel (40) mit der Steuerung verbunden sind.“
Mit dem Patentgegenstand soll die Aufgabe gelöst werden, ein Verfahren sowie
eine Vorrichtung zur Schichtdickenmessung zu schaffen, die eine besonders ein-
fache und mit geringem Arbeitsaufwand verbundene Schichtdickenmessung, so-
wohl von eisenfreien Schichten auf eisenhaltigen Substraten, als auch von nicht-
leitenden Schichten auf leitenden Substraten ermöglicht, sowie eine hierfür geeig-
nete Meßsonde zur Verfügung zu stellen (S. 3 Z. 23 bis 26 der geltenden Be-
schreibung).
Die Einsprechende II ist entsprechend ihrer Ankündigung vom 8. Januar 2009 zur
mündlichen Verhandlung nicht erschienen.
Sie hat mit diesem Schriftsatz den Antrag auf mündliche Verhandlung zurückge-
nommen und im Übrigen ihre Beschwerde damit begründet, dass die aufrechter-
haltenen Ansprüche 4 und 12 jeweils unzulässige Änderungen bzw. Erweiterun-
gen enthielten, und dass weder die Ansprüche 1, 4 bzw. 12 noch die Unteransprü-
che etwas Patentfähiges enthielten.
Im Übrigen sei eine Beschaffung eines Gerätes ELSA bzw. dessen Betriebsanlei-
tung zwar nicht möglich gewesen; dies sei aber auch entbehrlich im Hinblick auf
Verkehrsunfall und Fahrzeug-
technik
(ELSA
Wegen weiterer Einzelheiten wird auf den Akteninhalt verwiesen.
- 8 -
II.
Das Patent konnte mit der Beschränkung gemäß Beschluss der Patentabtei-
lung 1.52 vom 4. März 2005 keinen Bestand haben, da das Verfahren nach dem
aufrechterhaltenen Anspruch 1 und auch die Vorrichtungen bzw. Meßsonde ge-
mäß den aufrechterhaltenen Ansprüchen 4 bzw. 12 - entgegen der gesamten ur-
sprünglichen Offenbarung - nicht mehr auf ein magnetisches Gleichfeld be-
schränkt sind.
Vielmehr fallen hinsichtlich der im Verfahren zuerst anzuwendenden magnet-in-
duktiven Methode auch Messungen mit niederfrequenten magnetischen Wechsel-
feldern unter den Wortlaut des aufrechterhaltenen Anspruchs 1; unter die aufrecht-
erhaltenen Ansprüche 4 bzw. 12 fallen insbesondere Vorrichtungen, deren Mag-
netfeld in Umgebung der Polfläche ein niederfrequentes Wechsel-Magnetfeld ist.
Auch schon die entsprechenden erteilten Patentansprüche enthielten diese unzu-
lässige Erweiterung gegenüber der ursprünglichen erfindungswesentlichen Offen-
barung.
Weder in der Patentschrift noch in den zugehörigen ursprünglichen Unterlagen of-
fenbart ist darüber hinaus ein Verfahren, bei dem - wie im letzten Merkmal des
aufrechterhaltenen Anspruchs 1 angegeben ist - nach der automatischen Um-
schaltung zunächst geprüft wird, ob ein leitendes Substrat vorliegt, und erst in ei-
nem gegebenenfalls („falls ein leitendes Substrat ermittelt wird“) folgenden weite-
ren Schritt die Schichtdicke bestimmt wird.
Denn in Übereinstimmung mit der gesamten diesbezüglichen ursprünglichen Of-
fenbarung beginnt mit der Aktivierung der Wirbelstromspule vor dem Verfahren-
schritt 1060 (Fig. 7) unmittelbar die Messung der Schichtdicke, die aber im Falle
eines nicht-leitenden Substrats nicht gelingt und abgebrochen wird mit der Anzei-
ge ungültiger Messwerte (Schritt 1085 in Fig. 7).
- 9 -
Dieser Sachverhalt ist im erteilten Anspruch 1, Merkmal c) zutreffend wiedergege-
ben mit den Worten „Messen von … und Bestimmen der Schichtdicke anhand die-
ser Messung, falls ein leitendes Substrat vorliegt“.
Die in der mündlichen Verhandlung eingelegte Anschlussbeschwerde ermöglicht
der Patentinhaberin die Beseitigung der unzulässigen Änderungen im Rahmen ge-
änderter Anträge.
III.
Die zulässige Beschwerde kann keinen über die nun beantragte Beschränkung
hinausgehenden Erfolg haben.
Denn der Gegenstand gemäß den einander nebengeordneten Patentansprü-
chen 1, 4 bzw. 11 ist jeweils neu und ergibt sich für den Fachmann auch nicht in
naheliegender Weise aus dem Stand der Technik.
Als Fachmann ist ein Diplom-Ingenieur (Univ.) der elektrischen Messtechnik oder
ein Diplom-Physiker (Univ.) der technischen Physik anzusehen mit langjähriger
Berufserfahrung auf dem Gebiet der Schichtdickenmessung.
1.
Anschlussbeschwerde eine Bindung an die beschränkte Aufrechterhaltung im an-
gefochtenen Beschluss nicht mehr vorlag und die aus den erteilten Unteransprü-
chen und/oder der Patentbeschreibung neu aufgenommenen Merkmale zu der im
jeweiligen erteilten Patentanspruch unter Schutz gestellten Lehre gehören.
Diese Merkmale beschränken aufgrund ihrer Offenbarung an den im folgenden je-
weils angegebenen Stellen der Patentbeschreibung und den damit übereinstim-
menden jeweiligen ursprünglichen Textstellen die Ansprüche 1, 4 und 11 deshalb
auch zulässig, weil das nunmehr Beanspruchte auch vom erteilten Patent umfasst
ist.
- 10 -
Im Übrigen weiß der Fachmann schon aus seinem Fachwissen über die Grundla-
gen der Elektrotechnik heraus, dass mit der schon ursprünglich und auch in der
gesamten Patentschrift erteilter Fassung verwendeten Angabe „magnetische
Flußdichte“ die physikalische Größe „magnetischer Fluß“ gemeint ist, und versteht
deshalb alle im Zusammenhang mit einer „Flußdichte“ stehenden Angaben in
diesem physikalisch richtigen Sinn; sie wird in diesem Beschluss entsprechend
verwendet.
1.1
mal a) im geltenden Anspruch 1 entnimmt der Fachmann Seite 3, Zeile 22 und
Zeilen 32 bis 33 der Patentschrift.
Während unter die Verfahrensschritte a) und b) im erteilten Anspruch 1 Messun-
gen mit magnetischen Gleich- und Wechselfeldern fallen, entspricht die vorgenom-
mene Beschränkung im Merkmal b) auf ein magnetisches Gleichfeld bzw. einen
Gleichfeldmagneten den beiden einzigen in der Patentbeschreibung (S. 9 Z. 16
bis 25) und auch - für diese wie für alle weiteren folgenden Zitierungen - an den
entsprechenden Stellen der ursprünglichen Unterlagen offenbarten Ausführungs-
formen, die auch den erstmals verwendeten Begriff Gleichfeld zulässig offenbaren.
Eine Beschränkung auf einen Permanentmagneten war nicht erforderlich, weil es
bei der Messung der „Flußdichte“ mit einem magnetischen Gleichfeld auf die Art
der Erzeugung des Feldes offensichtlich nicht ankommt und der Permanentmag-
net auch erst Gegenstand des erteilten Anspruchs 3 war.
Hinsichtlich der Angaben zum Ort der Flußmessung „an einem Pol“ bzw. „in Um-
gebung der Polfläche“ erkennt der Fachmann in der Patentschrift keinen Unter-
schied; sie konnte im Merkmal b) an den Wortlaut des Anspruchs 4 (entsprechend
dem ursprünglichen Anspruch 5) angepasst werden.
- 11 -
Die Beschränkung auf eine automatische Umschaltung im Merkmal d) entspricht
der Offenbarung im ursprünglichen Anspruch 1, Merkmal b), und der in der Patent-
beschreibung einzig offenbarten Verfahrensführung (Fig. 7 und S. 8 Z. 64 bis 66),
bei der - wie später ausführlicher erläutert ist - ohne vorherige Substratprüfung mit
der ersten Meßmethode begonnen und nach vorgegebenen Kriterien auf die zwei-
te Meßmethode übergegangen wird.
Im Hinblick auf diese Verfahrensführung wird das am Ende von Merkmal c)
vom Fachmann hier auch nicht als exklusives verstanden sondern als eine
innerhalb eines Meßablaufs bedarfsweise vorkommende Option, die von der zuge-
hörigen Vorrichtung selbsttätig wahrgenommen wird.
Die Bedingungen „falls… ermittelt wird“ (Merkmal c) bzw. „falls… vorliegt“ (Merk-
mal d)) geben dem Fachmann die Lehre, zunächst eine magnet-induktive Gleich-
feldmessung der Schichtdicke durchzuführen, und beim Auftreten nicht plausibler
Meßwerte (vgl. Fig. 7, Schritt 1040) auf die Messung von im Substrat auftretenden
Wirbelstromeffekten automatisch umzuschalten, weil dann die zweite der beiden
am Anfang des Anspruchs 1 angegebenen Alternative messbarer Schichtsysteme
vorliegen muss.
1.2
Gleichfeldmagneten (Merkmale a), b) und e)) sowie auf die Ausbildung der Steue-
rung zum automatischen Umschalten (Merkmal d)) wird auf die Ausführungen zum
Anspruch 1 verwiesen, wobei sich die automatische Umschaltung der Eingangs-
signale von dem Flußdichtesensormittel auf die Wirbelstrommeßspule aus der Pa-
tentbeschreibung (S. 8 Z. 2 bis 11) in Verbindung mit Figur 6 der Patentschrift er-
gibt.
Das im erteilten Anspruch 8 angegebene Merkmal e) war am Ende des An-
spruchs 4 anzufügen, weil sich mit der Formulierung
schon aus Merkmal c) (i. V. m. Merkmal b) ergibt, dass lediglich eine einzige Pol-
fläche vorhanden ist, was zwei verschiedene Meßsonden für die beiden möglichen
Meßverfahren ausschließt.
- 12 -
Im Licht der Patentbeschreibung mit dem darin offenbarten automatischen
Schichtdicken-Meßverfahren, das - ohne vorherige Substratprüfung - mit einer
Gleichfeldmessung beginnt (d. h. es wird eine eisenfreie/nicht-magnetische
Schicht auf magnetischem Substrat unterstellt) und bei Nicht-Plausibilität (d
COATING
> d
MAX
, vgl. Schritt 1040 in Fig. 7) automatisch auf das Meßververfahren mit Wir-
belstrommessung umschaltet, versteht der Fachmann die mit den Merkmalen b)
und c) des Anspruchs 4 vorgegebene Reihenfolge der Meßmittel - ebenso wie die
Ausbildung der Steuermittel zum Umschalten
gemäß Merkmal d) - als deren „Betriebsreihenfolge“,
wenn mit der Vorrichtung gemessen wird.
1.3
erteilten Ansprüchen 16 bis 18,
und mit dem Hinweis in der Patentbeschreibung
(S. 3 Z. 47 bis 53) auf eine vorzugsweise als tragbare Handvorrichtung ausgeführ-
te Schichtdickenmeßvorrichtung, versteht der Fachmann die Angabe „Meßsonde
für eine kombinierte Schichtdickenmeßvorrichtung…“ am Anfang des erteilten An-
spruchs 14 dahingehend, dass die in diesem Anspruch unter Schutz gestellte
Meßsonde nicht als eigenständige Baueinheit an ein die Steuermittel enthaltendes
weiteres Gerät anschließbar ausgebildet ist, sondern derart, dass die Meßsonde
mit allen zur Schichtdickenmessung erforderlichen weiteren Bauteilen zu einer
kombinierten Schichtdickenmeßvorrichtung vereinigt ist.
Der insoweit gleichlautende geltende Anspruch 11 konnte deshalb mit seinem - im
erteilten Anspruch 16 angegebenen - letzten Merkmal e) zulässig beschränkt wer-
den auf eine derartige - insbesondere als tragbare Handvorrichtung ausführbare -
Baueinheit.
Die Zulässigkeit der Beschränkung auf einen Gleichfeldmagneten (Merkmale a)
und b)) ergibt sich auch für diesen Anspruch aus den Ausführungen zum gelten-
den Anspruch 1.
- 13 -
Unter Berücksichtigung der Patentbeschreibung zur Durchführung einer patentge-
mäßen Schichtdickenmessung zuerst mit einem Gleichfeld und bedarfsweise un-
mittelbar anschließend mit einer Wirbelstrommeßspule versteht der Fachmann
auch im geltenden Anspruch 11 die Reihenfolge der Meßmittel „Gleichfeld/Hall-
Effekt-Magnetsensormittel (Merkmal b) und erst danach „Wirbelstrommeßspule“
(Merkmal c)) in diesem Vorrichtungsanspruch nicht als wahlfrei, sondern als zwin-
gende automatische Aufeinanderfolge bei jeder Messung.
1.4
chen mit angepasster Nummerierung und/oder Rückbeziehung, ggf. mit Strei-
chung von lediglich „insbesondere“ vorgesehenen Merkmalen.
2.
dem Stand der Technik jeweils schon deshalb neu, weil keine der im Verfahren
genannten Druckschriften ein Verfahren bzw. eine Vorrichtung mit einer einzigen
Meßsonde offenbart, bei dem von einer magnet-induktiven Gleichfeldmessung auf
eine Wirbelstrommessung umgeschaltet wird bzw. die sowohl mit einem Gleich-
feldmagneten als auch mit einer Wirbelstrommeßspule zur Schichtdickenmessung
ausgestattet sind.
Technische Kurzmitteilungen (ELSA
m-i-Verfahren (=magnetinduktives V.) angegeben, dass Kraftflußänderungen
zur Anzeige verwertet wer-
den.
Dieser Angabe entnimmt der Fachmann - wie die Patentinhaberin zutreffend aus-
ELSA
senhaltigen Substrat nicht mit einem magnetischen Gleichfeld, sondern mit einem
niederfrequenten Wechselfeld arbeitet.
- 14 -
Die in der deutschen Offenlegungsschrift 24 10 047 beschriebene einzige Meß-
sonde eines Schichtdickenmeßgerätes (Titel) weist zwar einen Permanentmagne-
ten 10 auf: Dieser dient aber lediglich zur Vormagnetisierung des Polkerns 8, um
- mit einem Gleichfeldanteil - den Skalenverlauf zu beeinflussen (Blatt 3 Abs. 2),
während die magnetinduktive Messung mit einem niederfrequenten Spulenstrom
arbeitet (Blatt 1 /handschriftlich „6“, le. Abs.).
Auch die Vorrichtung nach EP 0 460 552 A2 arbeitet nicht mit einem magneti-
schen Gleichfeld, sondern mit einer Umschaltung zwischen nieder- und hochfre-
quenter Spulenerregung (vgl. Fig. 3: Oszillator 4 und Fig. 10: Frequenzbereiche
für magnetische bzw. nicht-magnetische Substrate).
Das in EP 0 028 487 A1 offenbarte Hall-Effekt-Dickenmeßgerät (Titel) arbeitet
nicht mit Wirbelstromeffekten und weist deshalb auch keine entsprechende Spule
auf.
Die als ältere Anmeldung gemäß § 3 (2) PatG zu berücksichtigende
DE 42 10 689 A1 offenbart weder eine automatische Umschaltung zwischen den
beiden Meßarten, wie die geltenden Ansprüche 1 und 4 lehren, noch das Zusam-
menfassen von Meßsonde und Steuermitteln zu einer Baueinheit (die Meßsonde
ist an eine Anzeigeeinheit anzuschließen, vgl. Sp. 3 Z. 1 bis 17), wie der geltende
Anspruch 11 lehrt.
Hinsichtlich des weiteren im Verfahren genannten Standes der Technik, der be-
züglich der geltenden Ansprüche über den vorgenannten Stand der Technik nicht
hinausgeht, wird auf die jeweiligen Ausführungen zur Neuheit im Beschluss der
Patentabteilung vom 4. März 2005 verwiesen.
2.
gemäß den geltenden Ansprüchen 4 bzw. 11 ergeben sich für den Fachmann in
naheliegender Weise aus dem Stand der Technik.
- 15 -
2.1
einstimmung mit dem Anspruch 1 ein
Verfahren zur Schichtdickenmessung von eisenfreien oder nicht-magnetischen
Schichten auf einem eisenhaltigen oder magnetischen Substrat sowie von nicht-
leitenden Schichten auf einem leitenden Substrat (vgl. Anwendung: Lackschicht
auf Stahl oder Aluminium), wobei:
a)
teilweise
eine Schichtdickenmeßvorrichtung mit einer einzigen Meßsonde zum
Durchführen beider Meßarten an einer einzigen Stelle verwendet wird
(mitzulesen wg. , um
mit der einzigen Meßsonde die Substrateigenschaften zu bestimmen
(vgl.: ) und eine Schichtdi-
ckenmessung auf dem charakterisierten Substrat durchzuführen (vgl.:
);
b)
teilweise
die einzige Meßsonde auf die Oberfläche eines beschichteten Substrats
aufgesetzt wird;
c)
die Schichtdicke anhand der gemessenen magnetischen Flußdichte be-
stimmt wird, falls ein eisenhaltiges Substrat ermittelt wird (mitzulesen,
weil der Fachmann die als Vorweginfor-
mation für die folgender Messung versteht); oder
d)
teilweise
in einen Modus umgeschaltet wird, um im Substrat auftretende Wirbel-
stromeffekte zu messen und die Schichtdicke anhand dieser Messung zu
bestimmen, falls ein leitendes Substrat vorliegt (mitzulesen wegen
).
Wie die Patentinhaberin zur Überzeugung des Senats vorgetragen hat, ist dort we-
der die patentgemäße Verfahrensabfolge noch eine magnetinduktive Messung mit
einem Gleichfeld offenbart.
- 16 -
Selbst wenn der Fachmann unter der einen selbsttä-
tigen Wechsel zwischen den beiden dort vorgesehenen Meßverfahren versteht, ist
schon die patentgemäße Reihenfolge der Messungen (zuerst magnetinduktiv, erst
danach und nur bedarfsweise Wirbelstrommessung) dort nicht mitzulesen, aber
auch nicht der unmittelbare Beginn einer Schichtdickenmessung und Anzeige
plausibler Werte, die der Patentanspruch 1 lehrt.
Auch die Verwendung eines Gleichfelds ist durch die beim magnetinduktiven Ver-
fahren vorgesehene Verwertung
ausgeschlossen.
Aufgrund der Angabe, dass eine statt-
ELSA
Werkstoffart ermittelt, und erst danach mit der „richtigen“, d. h. geeigneten Meß-
methode die Schichtdickenmessung vornimmt.
Nach alledem unterscheidet sich das anspruchsgemäße Verfahren von dem dort
offenbarten dadurch, dass
a)
Restmerkmal
automatisch die Substrateigenschaften bestimmt und die Schichtdi-
ckenmessung durchgeführt wird, dass
b)
Restmerkmal
geprüft wird, ob ein eisenhaltiges Substrat vorliegt, durch Anlegen ei-
nes magnetischen Gleichfeldes durch einen in der Meßsonde befindli-
chen Gleichfeldmagneten (30) und Messen der magnetischen Fluß-
dichte in der Umgebung der Polfläche des Gleichfeldmagneten (30);
oder
d)
Restmerkmal
automatisch in einen Modus zur Messung von Wirbelstromeffekten
umgeschaltet wird, falls ein leitendes Substrat vorliegt.
- 17 -
Für eine vom Stand der Technik derart unterschiedliche Verfahrensführung findet
der Fachmann aber im gesamten umfangreich entgegengehaltenen Stand der
Technik weder Hinweis noch Anregung.
Der Patentinhaberin ist zuzustimmen, dass der Fachmann schon die Art des Fel-
des bei der Anwendung der magnet-induktiven Methode nicht außer Acht lassen
kann.
Technischen Kurzmitteilungen (ELSA) a. a. O.
paktes Schichtdickenmeßgerät mit einem vorgese-
hene dynamische m-i-Verfahren waren vor dem Prioritätstag des Streitpatents
klein bauende Meßsonden mit nur einer oder zwei Wicklungen bekannt, gebräuch-
ELSA
gelesen und ist auch in der deutschen Offenlegungsschrift 24 10 047 (Fig. 2) oder
der EP 0 460 552 A2 (Fig. 5 bis 9) beschrieben.
Dem Fachmann fehlt deshalb schon jeder Anlass, die Messung auf eisenhaltigen
oder magnetischen Substraten mit einem magnetischen Gleichfeld durchzuführen,
wenn mit der gleichen Meßsonde für die Schichtkombination „nichtleitend auf lei-
tend“ auch noch Wirbelstrommessungen durchführbar sein sollen, wie es für die
ELSA
gesehen ist.
Auch die baulich engen Verhältnisse (handliches Kunststoffgehäuse) der im Gerät
ELSA
ziehen, bei der Magnet-Induktiven Methode mit einem magnetischen Gleichfeld zu
ELSA
magneten und einen Hall-Sensor vorzusehen, wie er aus der EP 0 028 487 A1 bei
einem Gerät bekannt ist, mit dem nur Schichtdicken-Messungen durchführbar
sind, bei denen mindestens eine Schicht ferromagnetisch sein muss (S. 1 Abs. 1).
- 18 -
MULTI-CHECK
gegengehaltenen Produktinformation arbeitet zwar mit nur einer Meßsonde, aber
mit manueller Umschaltung, so dass dieses Gerät dem Fachmann schon deshalb
keinen Hinweis geben könnte, ohne Kenntnis des jeweiligen Schichtaufbaus im-
mer mit einer Gleichfeld-Schichtdickenmessung zu beginnen und bei Nicht-Plausi-
bilität automatisch auf eine Wirbelstrommessung umzuschalten, wie der geltende
Anspruch 1 vorsieht.
Es kann deshalb dahingestellt bleiben, ob dieses Gerät vor dem Prioritätstag des
Streitpatents öffentlich zugänglich war und möglicherweise auch mit einem Gleich-
feld arbeitete.
Auch in den übrigen im Verfahren genannten Druckschriften ist keine Anregung
auf das im Anspruch 1 angegebene Verfahren enthalten, das - wie die Patentinha-
berin anschaulich erläutert hat - nach dem einfachen Motto arbeitet:
, bei dem also Schichtdi-
ckenmessung und Substratprüfung zu einem integrierten Verfahren quasi „ver-
schmolzen“ sind ohne den im Stand der Technik erforderlichen Zwischenschritt ei-
ner Substratprüfung oder vorherigen Kenntnis, welche der beiden messbaren
Schichtanordnungen vorliegt.
2.2
Schichtdickenmessung zweier verschiedener Schicht/Substrat-Kombinationen -
regelmäßig nicht losgelöst von dem beabsichtigten Meßverfahren, sondern das
vorgesehene Meßverfahren bildet die Basis für das Konzept einer zur Durchfüh-
rung dieses Verfahrens geeigneten Vorrichtung.
Deshalb ergibt sich die im geltenden Anspruch 4 beschriebene Schichtdickenmeß-
vorrichtung aus den schon zum Patentanspruch 1 angegebenen Gründen für den
Fachmann nicht in naheliegender Weise aus dem Stand der Technik.
- 19 -
Denn wenn der Fachmann - wie dargelegt - im Stand der Technik keinen Hinweis
oder Anregung bekommt, mit einer einzigen Meßsonde und beginnend mit einer
Gleichfeldmessung, an die sich bedarfsweise automatisch eine Wirbelstrommes-
sung anschließt, eine Schichtdickenmessung mit „integrierter“ Substraterkennung
ELSA a. a. O.
derart umzubauen, dass anstelle der für beide Meßverfahren verwendeten, kom-
pakten Spulenanordnung zusätzlich ein Gleichfeldmagnet und ein nahe der Polflä-
che desselben angeordnetes magnetisches Flußdichtesensormittel in der einzigen
Meßsonde vorgesehen ist.
Dass die Anordnung von Gleichfeldmagnet und Flußdichtesensormittel in einer
Meßsonde für magnetinduktive Bestimmung eisenfreier Schichten auf eisenhalti-
gen Substraten in der EP 0 028 487 A1 an sich bekannt ist, reicht als Anlass nicht
aus, dass der Fachmann diese mit einer Wirbelstrommeßspule in einer einzigen
Meßsonde nicht aus; hierzu müsste er vielmehr das patentgemäße Verfahren im
Sinn haben.
2.3
sonde gemäß dem geltenden Anspruch 11 ergibt sich für den Fachmann nicht aus
dem Stand der Technik.
Denn sie vereint einen Gleichfeldmagneten mit einem nahe (= in Umgebung) der
Polfläche desselben angeordneten Hall-Effekt-Magnetsensormittel und eine Wir-
belstrom-Meßspule nicht schon deshalb, weil beide Meßverfahren und die zuge-
hörigen Vorrichtungen jeweils für sich bekannt und die Mittel wahlfrei kombinierbar
sind, sondern auf dem patentgemäßen Hintergrund einer Messung gemäß dem im
geltenden Anspruch 1 angegebenen Verfahren.
- 20 -
Deshalb liest der Fachmann auch hier hinsichtlich der Steuermittel eine Ausgestal-
tung derart mit, dass mit einer Gleichfeld-Schichtdickenmessung begonnen und
optional auf eine Wirbelstrommessung umgeschaltet wird (der Fall der im gelten-
den Anspruch 4 explizit erwähnten automatischen Umschaltung fällt im Hinblick
auf die auch für diese Meßsonde beabsichtigte patentgemäße Verfahrensführung
auch hier unter den Anspruchswortlaut und ist vom Schutz umfasst).
Zwar gehören Meßsonden für eine kombinierte Schichtdickenmeßvorrichtung der
im geltenden Anspruch 11 beschriebenen Art, die - wie in der geltenden Patentbe-
schreibung (S. 3 Z. 47 bis 53) beispielhaft angegeben - als tragbare Handeinrich-
tung ausgeführt sind, zum Stand der Technik, wie die Veröffentlichung zum Gerät
ELSA
Für die Kombination der anspruchsgemäßen Mittel in einer einzigen Meßsonde
fehlt aber aus den schon zum geltenden Anspruch 4 genannten Gründen dem
Fachmann jeder Anlass oder Hinweis.
2.4
entsprechen wortgleich bzw. inhaltsgleich - ggf. durch Streichungen von lediglich
wahlfreien Ausgestaltungen auf den Kern der jeweiligen Ausgestaltung be-
schränkt - den erteilten Unteransprüchen.
Sie sind hinsichtlich ihrer Nummerierung und Rückbeziehung an die geänderten
nebengeordneten Ansprüche 1, 4 bzw. 11 angepasst.
Die Patentbeschreibung ist an die beantragte Beschränkung angepasst und hin-
sichtlich der Würdigung des wesentlichen Standes der Technik ergänzt.
Es kann dahingestellt bleiben, dass einzelne in der Patentbeschreibung angege-
bene theoretische Zusammenhänge hinsichtlich der in den Formeln angegebenen
Größen nicht vollständig beschrieben und damit auch nicht vollständig nachvoll-
ziehbar sind.
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Der Senat hat jedoch angesichts der für den hier zuständigen Fachmann voraus-
zusetzenden Kenntnisse über die Eigenschaften magnetischer Gleich- und Wech-
selfelder und deren Beeinflussung durch dazu variabel - nämlich abhängig von der
jeweiligen Dicke der Beschichtung - beabstandete magnetische oder leitende Ma-
terialien keine Bedenken, dass das patentgemäße Verfahren und die in diesem
Zusammenhang beschriebenen Vorrichtungen in der Patentschrift so deutlich und
vollständig offenbart sind, dass der Fachmann sie ausführen kann.
Bertl
Gutermuth
Dr. Kaminski
Groß
Be